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“好。您放心,只要不是不能解决的问题,保证不会去打扰您。”司徒静说道。
送走了司徒静!
陈阳回到办公室,再次看着手中的图纸!
薄膜机,光刻机,蚀刻机!
薄膜机相对技术含量较低,已经被突破,蚀刻机这次也已经全部突破,现在,就剩下光刻机了了!
“晶圆,光刻胶,掩膜器,净化系统……”
看着这一个个难点,像是一个个钉子,目前剩下的问题不多了,只要再拔掉这几个,就可以很顺利的解决光刻机问题!有了这芥子扫描显微镜,绝对会事半功倍!
……
与此同时,整个eva联盟,都收到了龙国已经突破刻蚀机的消息!
“怎么回事?之前不是说他们至少要三年之后才能突破吗?为什么这么快?是不是窃取了咱们的专利技术?”米国euv联盟委员会主席史蒂芬对着在场的众人问道。
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