张振兴立刻拿起桌子上的报告，看完之后，一脸的震惊！

        “二维单晶石墨烯材料？140皮米？”张振兴说道。ъìqυgΕtv.℃ǒΜ

        “没错，二维的单晶石墨烯材料，材料厚度几乎可以忽略不计，键长142皮米，因为和硅元素属于同族元素，与纯度达到20个九的单晶硅有很好的贴合性，因为它的导电性正好可以减少电阻，弥补硅的发热问题，同时可以提高运行速度。”

        “可是，这样一来，紫外光的强度又成倍数增加，而且，因为碳的光学特性，使它被吸收的更多，这样原本激光光源能够达到要求吗？”

        听到张振兴的话，陈阳忍不住感叹，不愧是研究芯片的，提的问题都一针见血！

        “为了能够实现高强度的光刻，我们使用波长更短，更加“锋利”的终极紫外光。”

        “什么？终极紫外光？”张振兴一脸的不解。

        “没错。紫外光的波长范围在10-216纳米之间，之前使用的光源在197纳米的深紫外光，现在光刻机使用的都是13。5纳米极紫外光源，而这还不够，我们用的终极紫外光就是紫外光的极限10纳米终极紫外光。”

        “不可能！绝对不可能！”张振兴脱口而出道。

        “现在用激光轰击锡液滴获得13、5纳米的极紫外光已经是达到了极限，而且，耗电量达到了惊人的恐怖程度，若是想要获得波长更短，强度更大的终极紫外光，那耗电量岂不是比现在的还要高很多！而且，还要求对光学掩膜发射器达到令人发指的地步，这些……都……”

        “都已经突破了！你没发现咱们的这个芯片工厂建在了黑龙基地旁边吗？等到可控核聚变电站运转，电量根本不是问题。”

        “至于要求更高的光学掩膜，你看看这个。”说完，陈阳把一个样品送到了张振兴面前。

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